Для цитирования:

Бусурин В.И., Кудрявцев П.С., Лю Ч. Исследование системы стабилизации сенсора бесконтактного сканирующего профилометра на основе метода оптического туннелирования. Мехатроника, автоматизация, управление. 2018;19(2):80-85.

For citation:

Busurin V.I., Kudryavtsev P.S., Liu Z. Investigation of the Sensor Stabilization System for Non-Contact Scanning Profilometer Based on the Optical Tunneling Method. Mekhatronika, Avtomatizatsiya, Upravlenie. 2018;19(2):80-85. (In Russ.)