Исследование бесконтактного оптического преобразователя приближения мехатронной системы стабилизации зазора сканирующего профилометра
Аннотация
Рассмотрена структура системы стабилизации зазора сканирующего профилометра с бесконтактным оптическим преобразователем приближения на основе оптического туннелирования, который может быть дополнением к широко применяющимся сканирующим атомно-силовым и туннельным микроскопам, главным недостатком которых является малый рабочий зазор (расстояние от тела до сканирующей иглы), что может привести к повреждению поверхности тела или к поломке сканирующей иглы. Предложена математическая модель преобразователя приближения на основе оптического туннелирования с рабочим диапазоном в сотни нанометров и проведено исследование отражательной способности преобразователя при различных конструктивных параметрах.
Об авторах
В. И. Бусурин
Московский авиационный институт (Национальный исследовательский университет)
Россия
Россия
Лю Чже
Московский авиационный институт (Национальный исследовательский университет)
Россия
Россия
П. С. Ахламов
Московский авиационный институт (Национальный исследовательский университет)
Россия
Россия
Н. А. Бердюгин
Московский авиационный институт (Национальный исследовательский университет)
Россия
Россия
Список литературы
1. Gross L., Mohn F., Moll N., Liljeroth P., Meyer G. The Chemical Structure of a Molecule Resolved by Atomic Force Microscopy // Science. 2009. № 325 (5944). P. 1110-1114.
2. Бусурин В. И., Князь В. А., Ходин М. М., Скрипник Н. П. Сканирующий профилометр для измерения профиля цилиндрических тел. // Мехатроника, автоматизация, управление. 2010. № 2 (107). С. 36-42.
3. Бори М., Вольф Э. Основы оптики. 2-е изд. М.: Наука, 1972.
Рецензия
Для цитирования:
Бусурин В.И., Лю Чже , Ахламов П.С., Бердюгин Н.А. Исследование бесконтактного оптического преобразователя приближения мехатронной системы стабилизации зазора сканирующего профилометра. Мехатроника, автоматизация, управление. 2015;16(1):43-47.
For citation:
Busurin V.I., Liu Zhe , Akhlamov P.S., Berdjugin N.A. Research of Gap Mechatronic Stabilization System of Scanning Profilometer of Optical Non-contact Approximation Transducer. Mekhatronika, Avtomatizatsiya, Upravlenie. 2015;16(1):43-47. (In Russ.)
Просмотров:
351
.png)
Послать статью по эл. почте 