Исследование бесконтактного оптического преобразователя приближения мехатронной системы стабилизации зазора сканирующего профилометра

Аннотация

Рассмотрена структура системы стабилизации зазора сканирующего профилометра с бесконтактным оптическим преобразователем приближения на основе оптического туннелирования, который может быть дополнением к широко применяющимся сканирующим атомно-силовым и туннельным микроскопам, главным недостатком которых является малый рабочий зазор (расстояние от тела до сканирующей иглы), что может привести к повреждению поверхности тела или к поломке сканирующей иглы. Предложена математическая модель преобразователя приближения на основе оптического туннелирования с рабочим диапазоном в сотни нанометров и проведено исследование отражательной способности преобразователя при различных конструктивных параметрах.