Preview

Мехатроника, автоматизация, управление

Расширенный поиск
Доступ открыт Открытый доступ  Доступ закрыт Только для подписчиков

Управление выращиванием кристаллов лейкосапфира

https://doi.org/10.17587/mau.18.840-846

Полный текст:

Аннотация

Разработана модель управления нагревом и скоростью вытягивания кристаллов лейкосапфира при выращивании из жидкого расплава. Модель работает в реальном масштабе времени, на современных контроллерах, обеспечивая плоский фронт кристаллизации кристалла во время всего процесса. Приведена структурная схема весовой системы управления для вытягивания кристаллов лейкосапфира на основе взвешивания убывающего расплава в тигле и получения сигнала управления в функции отклонения текущей площади кристалла от заданной.

Об авторе

С. П. Саханский
Сибирский государственный аэрокосмический университет науки и технологий имени академика М. Ф. Решетнева
Россия


Список литературы

1. Багдасаров Х. С. Высокотемпературная кристаллизация из расплава. М.: Физматлит, 2004. 160 c.

2. Клунникова Ю. В. Модель влияния параметров технологического процесса получения сапфира на качество кристаллов // Известия ЮФУ. Технические науки. 2010. № 7 (108). С. 198-203.

3. Bardsley W., Green G. W., Holliday C. H., Hurle D. T. J. Grystal Growth. 1972. vol. 16, no. 3, pp. 277-279.

4. Blumberg H., Reiche P., Watringer W. A. Czochralski crystal puller automated by the weighing metod // Crystal Research and Technology. 1981. vol. 10, no. 11, pp. 1323-1338.

5. Blumberg H., Reiche F. A. Czochralski crystal puller automated by the weghing technigue // Eur. Meet. Cryst. Growth., 82: Mater. Electron. Prague, Aug, 23-28, 1982, Usti nad Labem, s. a., pp. 51-52.

6. Шендерович И. Л., Шубский Г. И. Принципы построения систем управления процессом выращивания монокристаллов методом Чохральского // Научные труды Гиредмета. 1976. Т. 78. С. 111-115.

7. Саханский С. П. Управление температурой нагревателя на установке выращивания монокристаллов германия // Мехатроника. Автоматизация. Управление. 2008. № 1. C. 42-46.

8. Саханский С. П., Баркин C. М. Модель управления температурой при выращивании кремния // Вестник СибГАУ. 2010. Т. 3, Вып. 29. С. 149-153.

9. Саханский С. П., Якобсон М. Е. Модель управления скоростью вытягивания монокристаллов кремния // Вестник СибГАУ. 2010. Т. 5, Вып. 31. С. 254-258.

10. Саханский С. П. Управление скоростью вытягивания на установке выращивания монокристаллов германия // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2008. № 4. C. 7-11.

11. Саханский С. П. Управление температурой при выращивании монокристаллов германия // Автоматизация и современные технологии. 2009. № 3. С. 8-10.

12. Саханский С. П. Управление скоростью вытягивания при выращивании монокристаллов кремния // Мехатроника. Автоматизация. Управление. 2010. № 8. C. 37-39.

13. Саханский С. П. Модель управления формой при выращивании монокристаллов германия // Нано- и микросистемная техника. 2012. № 6. C. 2-5.

14. Саханский С. П. Задание температуры при выращивании монокристаллов кремния // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. № 2. C. 44-48.

15. Саханский С. П. Управление формой полупроводниковых кристаллов при выращивании по способу Чохральского // Журнал СФУ. Техника и технологии. 2014. Т. 7, Вып. 1. С. 20-31.

16. Саханский С. П. Управление процессом выращивания монокристаллов германия. Красноярск: Изд. СибГАУ, 2008. 104 с.

17. Благовещенский Ю. В. Вычисление элементарных функций на ЭВМ. Киев: Техника, 1977. 207 с.

18. Физические величины: Справочник / А. П. Бабичев, Н. А. Бабушкина, А. М. Братковский. М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232 c. Control of Cultivation of Leicosapphir Crystals


Для цитирования:


Саханский С.П. Управление выращиванием кристаллов лейкосапфира. Мехатроника, автоматизация, управление. 2017;18(12):840-846. https://doi.org/10.17587/mau.18.840-846

For citation:


Sakhansky S.P. Control of Cultivation of Leicosapphir Crystals. Mekhatronika, Avtomatizatsiya, Upravlenie. 2017;18(12):840-846. (In Russ.) https://doi.org/10.17587/mau.18.840-846

Просмотров: 20


ISSN 1684-6427 (Print)
ISSN 2619-1253 (Online)