Investigation of the Sensor Stabilization System for Non-Contact Scanning Profilometer Based on the Optical Tunneling Method
Abstract
About the Authors
V. I. BusurinRussian Federation
P. S. Kudryavtsev
Russian Federation
Zhe Liu
Russian Federation
References
1. Рыжевич А. А., Солоневич С. В., Хило Н. А., Лепарский В. Е. Лазерный профилометр для определения качества поверхности // Матер. 9-й Междунар. конф. "Взаимодействие излучений с твердым телом", 20-22 сентября Минск, 2011 г. С. 448-450.
2. Nano-Optics and Near-Field Optical Microscopy / Ed. by Zayats A., Richards D. Boston: Artech House, 2009. 379 p.
3. Shubeita G. T., Sekatskii S. K., Riedo B., Dietler G. Scanning Near-Field Optical Microscopy based on the Heterodyne Phase-Controlled Oscillator Method // Journal of Applied Physics. 2000. Vol. 88, N. 5. P. 2921-2927.
4. Handbook of Nano-Optics and Nanophotonics. M. Springer, 2013. 1068 p.
5. Бусурин В. И., Лю Чжэ, Ахламов П. С., Беpдюгин Н. А. Исследование бесконтактного оптического пpеобpазователя пpиближения мехатpонной системы стабилизации зазоpа сканиpующего пpофилометpа // Мехатроника, автоматизация, управление. 2015. Т. 16. № 1. С. 43-47.
6. Линник Ю. В. Метод наименьших квадратов и основы математическо-статистической теории обработки наблюдений. М.: ФИЗМАТЛИТ, 1958. 338 с.
7. Шуберт Ф. Светодиоды. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2008. 496 с.
8. Операционный усилитель OУ-SL2541B. URL: http:// www.datasheetlib.com/datasheet/1270687/sl2541b_plessey-semi-conductors.html (дата обращения 28.01.2017).
9. Операционный усилитель ОУ-154УД4, ОУ-140УД6. URL: http://www.chipinfo.ru, (дата обращения 28.01.2017).
10. Бобцов А. А., Бойков В. И., Быстров С. В., Григорьев В. В. Исполнительные устройства и системы для микроперемещений. СПб.: СПБ ГУ ИТМО, 2011. 134 с.
11. Пьезодвигатель "Piezolegs". URL: http://www.piezomotor.com, (дата обращения 28.01.2017).
12. Бесконтактная инкрементальная энкодерная система "Tonic". URL: http://www.renishaw.ru (дата обращения 28.01.2017).
13. Геращенко Е. И., Геращенко С. М. Метод разделения движений и оптимизация нелинейных систем. М.: Наука, 1975. 296 с.
14. Черных И. В. Simulink: среда создания инженерных приложений / Под ред. В. Г. Потемкина М.: Диалог-МИФИ, 2004. 496 с.
15. D'Errico J. Numerical Differentiation: Function Jaco-bianest. URL: http://www.mathworks.com (дата обращения 28.01.2017).
Review
For citations:
Busurin V.I., Kudryavtsev P.S., Liu Zh. Investigation of the Sensor Stabilization System for Non-Contact Scanning Profilometer Based on the Optical Tunneling Method. Mekhatronika, Avtomatizatsiya, Upravlenie. 2018;19(2):80-85. (In Russ.)