Исследование системы стабилизации сенсора бесконтактного сканирующего профилометра на основе метода оптического туннелирования
Аннотация
Исследуется система стабилизации положения сенсора бесконтактного сканирующего профилометра относительно исследуемой поверхности на основе оптического туннелирования. Решается задача подбора элементной базы, с помощью которой возможно реализовать необходимые требования по точности и качеству регулирования процесса перемещения сенсора. Также рассматривается и решается задача построения регулятора, компенсирующего нежелательные временные свойства контура измерений, который базируется на динамических звеньях, имеющих большие коэффициенты усиления и малые постоянные времени.
Об авторах
В. И. Бусурин
Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)
Россия
Россия
П. С. Кудрявцев
Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)
Россия
Россия
Чжэ Лю
Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)
Россия
Россия
Список литературы
1. Рыжевич А. А., Солоневич С. В., Хило Н. А., Лепарский В. Е. Лазерный профилометр для определения качества поверхности // Матер. 9-й Междунар. конф. "Взаимодействие излучений с твердым телом", 20-22 сентября Минск, 2011 г. С. 448-450.
2. Nano-Optics and Near-Field Optical Microscopy / Ed. by Zayats A., Richards D. Boston: Artech House, 2009. 379 p.
3. Shubeita G. T., Sekatskii S. K., Riedo B., Dietler G. Scanning Near-Field Optical Microscopy based on the Heterodyne Phase-Controlled Oscillator Method // Journal of Applied Physics. 2000. Vol. 88, N. 5. P. 2921-2927.
4. Handbook of Nano-Optics and Nanophotonics. M. Springer, 2013. 1068 p.
5. Бусурин В. И., Лю Чжэ, Ахламов П. С., Беpдюгин Н. А. Исследование бесконтактного оптического пpеобpазователя пpиближения мехатpонной системы стабилизации зазоpа сканиpующего пpофилометpа // Мехатроника, автоматизация, управление. 2015. Т. 16. № 1. С. 43-47.
6. Линник Ю. В. Метод наименьших квадратов и основы математическо-статистической теории обработки наблюдений. М.: ФИЗМАТЛИТ, 1958. 338 с.
7. Шуберт Ф. Светодиоды. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2008. 496 с.
8. Операционный усилитель OУ-SL2541B. URL: http:// www.datasheetlib.com/datasheet/1270687/sl2541b_plessey-semi-conductors.html (дата обращения 28.01.2017).
9. Операционный усилитель ОУ-154УД4, ОУ-140УД6. URL: http://www.chipinfo.ru, (дата обращения 28.01.2017).
10. Бобцов А. А., Бойков В. И., Быстров С. В., Григорьев В. В. Исполнительные устройства и системы для микроперемещений. СПб.: СПБ ГУ ИТМО, 2011. 134 с.
11. Пьезодвигатель "Piezolegs". URL: http://www.piezomotor.com, (дата обращения 28.01.2017).
12. Бесконтактная инкрементальная энкодерная система "Tonic". URL: http://www.renishaw.ru (дата обращения 28.01.2017).
13. Геращенко Е. И., Геращенко С. М. Метод разделения движений и оптимизация нелинейных систем. М.: Наука, 1975. 296 с.
14. Черных И. В. Simulink: среда создания инженерных приложений / Под ред. В. Г. Потемкина М.: Диалог-МИФИ, 2004. 496 с.
15. D'Errico J. Numerical Differentiation: Function Jaco-bianest. URL: http://www.mathworks.com (дата обращения 28.01.2017).
Рецензия
Для цитирования:
Бусурин В.И., Кудрявцев П.С., Лю Ч. Исследование системы стабилизации сенсора бесконтактного сканирующего профилометра на основе метода оптического туннелирования. Мехатроника, автоматизация, управление. 2018;19(2):80-85.
For citation:
Busurin V.I., Kudryavtsev P.S., Liu Z. Investigation of the Sensor Stabilization System for Non-Contact Scanning Profilometer Based on the Optical Tunneling Method. Mekhatronika, Avtomatizatsiya, Upravlenie. 2018;19(2):80-85. (In Russ.)
Просмотров: 244
.png)
Послать статью по эл. почте 