Параметрические структурные схемы пьезоактюаторов нано- и микроперемещений при продольном пьезоэффекте
https://doi.org/10.17587/mau.18.112-121
Аннотация
Исследованы параметрические структурные схемы пьезоактюаторов нано- и микроперемещений, получены структурно-параметрические модели пьезоактюаторов при продольном пьезоэффекте с учетом противоэлектродвижущей силы, определены передаточные функции.
Ключевые слова
пьезоактюатор,
деформация,
нано- и микроперемещения,
параметрическая структурная схема,
структурно-параметрическая модель,
продольный пьезоэффект,
противоэлектродвижущая сила,
передаточная функция,
piezoactuator,
deformation,
nano- and micrometric movements,
parametric structural scheme,
structural-parametric model,
longitudinal piezoelectric effect,
transfer function
Об авторе
С. М. Афонин
Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
Россия
Россия
Список литературы
1. Панич А. Е. Пьезокерамические актюаторы. Ростов-на-Дону: Южный федеральный университет, 2008. 159 с.
2. Физическая акустика. Т. 1. Часть А. Методы и приборы ультразвуковых исследований / Под ред. У. Мэзона. М.: Мир, 1966. 592 с.
3. Афонин С. М. Решение матричных уравнений в задачах электроупругости для многослойных актюаторов наноперемещений // Мехатроника, автоматизация, управление. 2010. № 8. С. 39-45.
4. Афонин С. М. Исследование статических и динамических характеристик пьезодвигателя нано- и микроперемещений // Изв. РАН. Теория и системы управления. 2008. № 5. С. 114-121.
5. Afonin S. M. Structural-parametric model and transfer functions of electroelastic actuator for nano- and microdisplacement // Chapter 9 in: Piezoelectrics and Nanomaterials: Fundamentals, Developments and Applications. Editor: Parinov I. A. New York: Nova Science Publisher. 2015. P. 225-242.
6. Афонин С. М. Статические характеристики и упругие податливости многослойных пьезоактюаторов нано- и микроперемещений // Нано- и микросистемная техника. 2016. Т. 18, № 1. С.40-48.
7. Полянин А. Д. Справочник по линейным уравнениям математической физики. М.: Физматлит. 2001. 576 с.
8. Estanbouli Y., Hayward G., Radamas S., Barbenel J. A block diagram model of the thickness mode piezoelectric transducer containing dual oppositely polarized piezoelectric zones // IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control. 2006. Vol. 53. № 5. P. 1028-1036.
9. Smyth K., Kim S.-G. Experiment and simulation validated analytical equivalent circuit model for piezoelectric micromachined ultrasonic transducers // IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferro-electrics, and Frequency Control, 2015. Vol. 62, № 4, P. 744-765.
10. Uchino K. Piezoelectric actuator and ultrasonic motors. Boston, MA: Kluwer Academic Publisher, 1997. 347 p.
11. Borboni A. Meso- to micro-actuators: a theoretical and practical approach. New York: CRC Press. 2008. 400 p.
Рецензия
Для цитирования:
Афонин С.М. Параметрические структурные схемы пьезоактюаторов нано- и микроперемещений при продольном пьезоэффекте. Мехатроника, автоматизация, управление. 2017;18(2):112-121. https://doi.org/10.17587/mau.18.112-121
For citation:
Afonin S.M. Parametric Structural Schemes of Piezoactuators for Nano-and Micrometric Movements at a Longitudinal Piezoeffect. Mekhatronika, Avtomatizatsiya, Upravlenie. 2017;18(2):112-121. (In Russ.) https://doi.org/10.17587/mau.18.112-121
Просмотров: 468
.png)
Послать статью по эл. почте 