Preview

Мехатроника, автоматизация, управление

Расширенный поиск

Перспективы использования полиимида в исполнительных устройствах мехатронных микросистем

Полный текст:

Аннотация

Анализируются известные и практически реализованные технические решения в части применения полиимида в устройствах микросистемной техники космического назначения. Варианты применения классифицированы по функциональному назначению, приведены достоинства и недостатки полиимида при использовании его в современных изделиях, рассмотрены технологические приемы формирования полиимидных слоев.

Об авторах

Н. Н. Болотник
Институт проблем механики им. А. Ю. Ишлинского PАН
Россия


А. А. Жуков
АО "Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем"
Россия


Д. В. Козлов
АО "Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем"
Россия


А. С. Корпухин
АО "Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем"
Россия


И. П. Смирнов
АО "Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем"
Россия


Список литературы

1. Бессонов М. И., Котон М. М., Кудрявцев В. В., Лайус Л. А. Полиимиды - класс термостойких полимеров. Санкт-Петербург: Наука, 1983. 328 с.

2. Панасюк М. И., Новиков Л. С. (ред.) Модель космоса. Т. 2. Воздействие космической среды на материалы и оборудование космических аппаратов. Москва: Издательство КДУ, 2007. 1144 с.

3. Матвеев В. В., Никифоров А. П., Скурат В. Е., Чалых А. Е. О механизме возникновения шероховатости поверхности полимерных материалов при анизотропном травлении пучком быстрого атомарного кислорода // Химическая физика. 1998. Т. 17. № 4. С. 120-128.

4. Maluf N., Williams К. An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering. Artech House, Inc. Boston, London, 2004. 304 р.

5. Басовский А. А., Жуков А. А., Анурова Л. В., Харитонов В. А. Способ изготовления шунтирующего диода для солнечных батарей космических аппаратов. Пат. 2411607 РФ, МПК2011 H01L21/329. АО "Российские космические системы". Заяв. 26.11.2009. Опубл. 10.02.2011. Б. И. № 4. 8 с.

6. Корпухин А. С., Козлов Д. В., Смирнов И. П., Жуков А. А., Пешехонцев И. И. Влияние армирования полиимидного слоя одностенными углеродными нанотрубками на термодеформационные характеристики полиимид-кремниевых балок тепловых микроактюаторов // Материаловедение. 2011. № 9. С. 43-46.

7. Ebefors Т. Polyimide V-groove Joints for Three-Dimensional Silicon Transducers. Ph. D. thesis. Royal Institute of Technology. Stockholm. 2000. 144 р.

8. Козлов Д. В., Смирнов И. П. Функциональные возможности универсальных датчиков на основе термомеханических актюаторов // Инновации и инвестиции. 2013. № 5. С. 191-193.

9. Козлов Д. В., Смирнов И. П. Микросистемный емкостной датчик измерения физических величин. Пат. 2541415 РФ, МПК2014 G01D5/24, В81В7/02. АО "Российские космические системы". Заяв. 26.09.2013. Опубл. 10.02.2015. Б. И. № 4. 8 с.

10. Жуков А. А. Физико-технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики: дис.. докт. техн. наук. М., 2003.

11. Корпухин А. С., Козлов Д. В., Смирнов И. П., Жуков А. А., Бабаевский П. Г. Влияние условий формирования и толщины слоев на термодеформационные характеристики полиимид-кремниевых упруго-шарнирных балок тепловых актюаторов // Нано- и микросистемная техника. 2011. № 2. С. 34-40.

12. Веселаго В. Г., Жуков А. А., Корпухин А. С., Капустин А. В., Лаврищев В. П. Способ изготовления метаматериала (варианты). Пат. 2522694 РФ, МПК2014 H01Q1/38. АО "Российские космические системы". Заяв. 07.09.2012. Опубл. 20.07.2014. Б. И. № 20. 13 с.

13. Datta M., Osaka T., Schultze J. W. (Eds.). Microelectronic Packaging. CRC Press, Boca Raton, 2005. 564 р.

14. Козлов Д. В., Смирнов И. П., Жуков А. А., Чащухин В. Г., Градецкий В. Г., Болотник Н. Н. Микросистемный космический робот-инспектор (варианты). Пат. 2566454 РФ МПК2015 B25J 11/00, B64G 4/00. АО "Российские космические системы". Заяв. 11.03.2014. Опубл. 27.10.2015. Б. И. № 30. 19 с.

15. Смирнов И. П., Козлов Д. В., Корпухин А. С., Жуков А. А. Микросистемное устройство управления поверхностью для крепления малогабаритной антенны Пат. 2456720 РФ, МПК2012 H01Q 1/28. АО "Российские космические системы". Заяв. 11.03.2011. Опубл. 20.07.2012. Б. И. № 20. 15 с.

16. Erdem E. Y., Chen Y. M., Mohebbi M., Darling R. B., Böhringer K. F., Suh J. W., Kovacs G. T. A. Thermally Actuated Omnidirectional Walking Microrobot // Journal of Microelectromechanical Systems. 2010. No. 19 (3). P. 433-442.

17. Kälvesten E., Ebefors T., Mattsson J. U., Stemme G. A walking silicon micro-robot // The 10th Int Conference on Solid-State Sensors and Actuators (Transducers'99), Sendai, Japan, 1999. P. 1202-1205.

18. Смирнов И. П., Жуков А. А., Козлов Д. В., Корпухин А. С., Бабаевский П. Г. Тепловой микромеханический актюатор и способ его изготовления. Пат. 2448896 РФ, МПК2012 В81В 3/00, В81С 1/00, В81В 7/00. АО "Российские космические системы". Заяв. 25.03.2012; Опубл. 27.04.2012, Б. И. № 12.20 с.

19. Khandpur R. S. Printed circuit boards: design, fabrication and assembly. Tata McGraw-Hill Education. New Delhi, 2005. 704 p.


Для цитирования:


Болотник Н.Н., Жуков А.А., Козлов Д.В., Корпухин А.С., Смирнов И.П. Перспективы использования полиимида в исполнительных устройствах мехатронных микросистем. Мехатроника, автоматизация, управление. 2016;17(4):233-239.

For citation:


Bolotnik N.N., Zhukov A.A., Kozlov D.V., Korpukhin A.S., Smirnov I.P. Prospects for Using Polyimide in Actuators of Mechatronic Microsystems. Mekhatronika, Avtomatizatsiya, Upravlenie. 2016;17(4):233-239. (In Russ.)

Просмотров: 2


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1684-6427 (Print)
ISSN 2619-1253 (Online)