Research and Development of the Methods for Estimation of the Basic Parameters of the Micromechanical Transducers of Linear Acceleration
https://doi.org/10.17587/mau.16.422-425
Abstract
About the Authors
S. P. TimoshenkovRussian Federation
V. V. Kalugin
Russian Federation
N. M. Parfenov
Russian Federation
S. A. Antchutin
Russian Federation
E. S. Kochurina
Russian Federation
D. W. Mukimov
Russian Federation
Jo Had Aung
Russian Federation
References
1. Бойко А. Н., Заводян А. Р., Симонов Б. М. Моделирование элементов конструкции и изготовление // Электроника. Наука. Технология. Бизнес. 2009. № 8. С. 100-103.
2. Панов А. П. Математические основы теории инерциальной ориентации. Киев: Наукова думка, 1995. 280 с.
3. Мокров Е. А. Краткий анализ методов испытаний инерциальных МЭМС-датчиков // Датчики и системы. 1995. № 10. С. 18-20.
4. Синельников А. Е. Низкочастотные линейные акселерометры. Методы и средства поверки и градуировки. М.: Изд-во стандартов, 1979. 175 с.
5. Pavelescu I., Georgescu I., Guran D. E., Cobianu С. P. Патент США на изобретение US 7784344. Integrated MEMS 3D multi-sensor; Honeywell International Inc. (US). Опубл. 31.08.2010. 14 с.
6. Малышев Р. А. Краткий анализ методов испытаний инерциальных МЭМС-датчиков //Датчики и системы. 2011. № 8. С. 64-66.
7. Sun Y., Kim K. Патент США на изобретение US 8317245. MEMS-based micro and nano grippers with two-axis force sensors / Опубл. 27.11.2012. 7 с.
8. Байрак В. В., Шарков М. В. Стенд для испытаний изделий на совместное воздействие вибрационных и линейных ускорений. Патент. G01M7/02 Опублик. 10.08.2010.
9. Caruso M. J., Bratland T., Smith C. H., Schneider R. A New Perspective on Magnetic Field Sensing // Sensor. Expo proceedings. 1998. P. 195-213.
10. Катомин Н. Н. Испытания гироскопов и акселерометров: Учеб. пособие. М.: Изд. МАТИ, 1993. 94 с.
Review
For citations:
Timoshenkov S.P., Kalugin V.V., Parfenov N.M., Antchutin S.A., Kochurina E.S., Mukimov D.W., Jo Had Aung Research and Development of the Methods for Estimation of the Basic Parameters of the Micromechanical Transducers of Linear Acceleration. Mekhatronika, Avtomatizatsiya, Upravlenie. 2015;16(6):422-426. (In Russ.) https://doi.org/10.17587/mau.16.422-425