Исследование и разработка методов оценки основных параметров микромеханических преобразователей линейного ускорения
https://doi.org/10.17587/mau.16.422-425
Аннотация
Изложен метод оценки основных параметров (смещение нуля, крутизна выходной характеристики (масштабный коэффициент и т. д.) микроэлектромеханических преобразователей линейного ускорения (ПЛУ). Приведены методы оценки статических и случайных ошибок ПЛУ. Рассматривается разработанный микромеханический ПЛУ (акселерометр), предназначенный для систем навигации, ориентации, стабилизации, управления движением и наведения различных объектов. Анализ статических характеристик микромеханических ПЛУ проведен с помощью метода наименьших квадратов. Случайные ошибки параметров акселерометра оцениваются с помощью вариации Алана - характеристики шума и других параметров, представляющей собой функцию от времени усреднения. Приведены результаты оценки статических параметров ПЛУ, проведенной с использованием центрифуги с микропроцессорным управлением и программированием режимов, позволившей повысить точность расчета параметров.
Об авторах
С. П. Тимошенков
МИЭТ (национальный исследовательский университет)
Россия
Россия
В. В. Калугин
МИЭТ (национальный исследовательский университет)
Россия
Россия
Н. М. Парфёнов
МАИ (национальный исследовательский университет)
Россия
Россия
С. А. Анчутин
МАИ (национальный исследовательский университет)
Россия
Россия
Е. С. Кочурина
МИЭТ (национальный исследовательский университет)
Россия
Россия
Д. Ж. Мукимов
МИЭТ (национальный исследовательский университет)
Россия
Россия
Чжо Мьё Аунг
МИЭТ (национальный исследовательский университет)
Россия
Россия
Список литературы
1. Бойко А. Н., Заводян А. Р., Симонов Б. М. Моделирование элементов конструкции и изготовление // Электроника. Наука. Технология. Бизнес. 2009. № 8. С. 100-103.
2. Панов А. П. Математические основы теории инерциальной ориентации. Киев: Наукова думка, 1995. 280 с.
3. Мокров Е. А. Краткий анализ методов испытаний инерциальных МЭМС-датчиков // Датчики и системы. 1995. № 10. С. 18-20.
4. Синельников А. Е. Низкочастотные линейные акселерометры. Методы и средства поверки и градуировки. М.: Изд-во стандартов, 1979. 175 с.
5. Pavelescu I., Georgescu I., Guran D. E., Cobianu С. P. Патент США на изобретение US 7784344. Integrated MEMS 3D multi-sensor; Honeywell International Inc. (US). Опубл. 31.08.2010. 14 с.
6. Малышев Р. А. Краткий анализ методов испытаний инерциальных МЭМС-датчиков //Датчики и системы. 2011. № 8. С. 64-66.
7. Sun Y., Kim K. Патент США на изобретение US 8317245. MEMS-based micro and nano grippers with two-axis force sensors / Опубл. 27.11.2012. 7 с.
8. Байрак В. В., Шарков М. В. Стенд для испытаний изделий на совместное воздействие вибрационных и линейных ускорений. Патент. G01M7/02 Опублик. 10.08.2010.
9. Caruso M. J., Bratland T., Smith C. H., Schneider R. A New Perspective on Magnetic Field Sensing // Sensor. Expo proceedings. 1998. P. 195-213.
10. Катомин Н. Н. Испытания гироскопов и акселерометров: Учеб. пособие. М.: Изд. МАТИ, 1993. 94 с.
Рецензия
Для цитирования:
Тимошенков С.П., Калугин В.В., Парфёнов Н.М., Анчутин С.А., Кочурина Е.С., Мукимов Д.Ж., Чжо Мьё Аунг . Исследование и разработка методов оценки основных параметров микромеханических преобразователей линейного ускорения. Мехатроника, автоматизация, управление. 2015;16(6):422-426. https://doi.org/10.17587/mau.16.422-425
For citation:
Timoshenkov S.P., Kalugin V.V., Parfenov N.M., Antchutin S.A., Kochurina E.S., Mukimov D.W., Jo Had Aung . Research and Development of the Methods for Estimation of the Basic Parameters of the Micromechanical Transducers of Linear Acceleration. Mekhatronika, Avtomatizatsiya, Upravlenie. 2015;16(6):422-426. (In Russ.) https://doi.org/10.17587/mau.16.422-425
Просмотров: 340
.png)
Послать статью по эл. почте 