Исследование и разработка методов оценки основных параметров микромеханических преобразователей линейного ускорения
https://doi.org/10.17587/mau.16.422-425
Аннотация
Об авторах
С. П. ТимошенковРоссия
В. В. Калугин
Россия
Н. М. Парфёнов
Россия
С. А. Анчутин
Россия
Е. С. Кочурина
Россия
Д. Ж. Мукимов
Россия
Чжо Мьё Аунг
Россия
Список литературы
1. Бойко А. Н., Заводян А. Р., Симонов Б. М. Моделирование элементов конструкции и изготовление // Электроника. Наука. Технология. Бизнес. 2009. № 8. С. 100-103.
2. Панов А. П. Математические основы теории инерциальной ориентации. Киев: Наукова думка, 1995. 280 с.
3. Мокров Е. А. Краткий анализ методов испытаний инерциальных МЭМС-датчиков // Датчики и системы. 1995. № 10. С. 18-20.
4. Синельников А. Е. Низкочастотные линейные акселерометры. Методы и средства поверки и градуировки. М.: Изд-во стандартов, 1979. 175 с.
5. Pavelescu I., Georgescu I., Guran D. E., Cobianu С. P. Патент США на изобретение US 7784344. Integrated MEMS 3D multi-sensor; Honeywell International Inc. (US). Опубл. 31.08.2010. 14 с.
6. Малышев Р. А. Краткий анализ методов испытаний инерциальных МЭМС-датчиков //Датчики и системы. 2011. № 8. С. 64-66.
7. Sun Y., Kim K. Патент США на изобретение US 8317245. MEMS-based micro and nano grippers with two-axis force sensors / Опубл. 27.11.2012. 7 с.
8. Байрак В. В., Шарков М. В. Стенд для испытаний изделий на совместное воздействие вибрационных и линейных ускорений. Патент. G01M7/02 Опублик. 10.08.2010.
9. Caruso M. J., Bratland T., Smith C. H., Schneider R. A New Perspective on Magnetic Field Sensing // Sensor. Expo proceedings. 1998. P. 195-213.
10. Катомин Н. Н. Испытания гироскопов и акселерометров: Учеб. пособие. М.: Изд. МАТИ, 1993. 94 с.
Рецензия
Для цитирования:
Тимошенков С.П., Калугин В.В., Парфёнов Н.М., Анчутин С.А., Кочурина Е.С., Мукимов Д.Ж., Чжо Мьё Аунг . Исследование и разработка методов оценки основных параметров микромеханических преобразователей линейного ускорения. Мехатроника, автоматизация, управление. 2015;16(6):422-426. https://doi.org/10.17587/mau.16.422-425
For citation:
Timoshenkov S.P., Kalugin V.V., Parfenov N.M., Antchutin S.A., Kochurina E.S., Mukimov D.W., Jo Had Aung . Research and Development of the Methods for Estimation of the Basic Parameters of the Micromechanical Transducers of Linear Acceleration. Mekhatronika, Avtomatizatsiya, Upravlenie. 2015;16(6):422-426. (In Russ.) https://doi.org/10.17587/mau.16.422-425