<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<!DOCTYPE article PUBLIC "-//NLM//DTD JATS (Z39.96) Journal Publishing DTD v1.3 20210610//EN" "JATS-journalpublishing1-3.dtd">
<article article-type="research-article" dtd-version="1.3" xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xml:lang="ru"><front><journal-meta><journal-id journal-id-type="publisher-id">novtexmech</journal-id><journal-title-group><journal-title xml:lang="ru">Мехатроника, автоматизация, управление</journal-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title>Mekhatronika, Avtomatizatsiya, Upravlenie</trans-title></trans-title-group></journal-title-group><issn pub-type="ppub">1684-6427</issn><issn pub-type="epub">2619-1253</issn><publisher><publisher-name>Commercial Publisher «New Technologies»</publisher-name></publisher></journal-meta><article-meta><article-id pub-id-type="doi">10.17587/mau.16.422-425</article-id><article-id custom-type="elpub" pub-id-type="custom">novtexmech-136</article-id><article-categories><subj-group subj-group-type="heading"><subject>Research Article</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="section-heading" xml:lang="ru"><subject>СИСТЕМЫ НАВИГАЦИИ И УПРАВЛЕНИЕ ДВИЖЕНИЕМ</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="section-heading" xml:lang="en"><subject>NAVIGATION AND TRAFFIC CONTROL SYSTEMS</subject></subj-group></article-categories><title-group><article-title>Исследование и разработка методов оценки основных параметров микромеханических преобразователей линейного ускорения</article-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title>Research and Development of the Methods for Estimation of the Basic Parameters of the Micromechanical Transducers of Linear Acceleration</trans-title></trans-title-group></title-group><contrib-group><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Тимошенков</surname><given-names>С. П.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Timoshenkov</surname><given-names>S. P.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">spt@miee.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Калугин</surname><given-names>В. В.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Kalugin</surname><given-names>V. V.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">victor118@mail.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Парфёнов</surname><given-names>Н. М.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Parfenov</surname><given-names>N. M.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">sedennik@mail.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-2"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Анчутин</surname><given-names>С. А.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Antchutin</surname><given-names>S. A.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-2"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Кочурина</surname><given-names>Е. С.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Kochurina</surname><given-names>E. S.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Мукимов</surname><given-names>Д. Ж.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Mukimov</surname><given-names>D. W.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Чжо Мьё Аунг</surname></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Jo Had Aung</surname></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib></contrib-group><aff-alternatives id="aff-1"><aff xml:lang="ru"><institution>МИЭТ (национальный исследовательский университет)</institution><country>Россия</country></aff><aff xml:lang="en"><institution>MIET (National Research University), Moscow, 124498, Russian Federation</institution><country>Russian Federation</country></aff></aff-alternatives><aff-alternatives id="aff-2"><aff xml:lang="ru"><institution>МАИ (национальный исследовательский университет)</institution><country>Россия</country></aff><aff xml:lang="en"><institution>MAI (National Research University), Moscow, 125993, Russian Federation</institution><country>Russian Federation</country></aff></aff-alternatives><pub-date pub-type="collection"><year>2015</year></pub-date><pub-date pub-type="epub"><day>28</day><month>08</month><year>2018</year></pub-date><volume>16</volume><issue>6</issue><fpage>422</fpage><lpage>426</lpage><permissions><copyright-statement>Copyright &amp;#x00A9; Commercial Publisher «New Technologies», 2018</copyright-statement><copyright-year>2018</copyright-year><copyright-holder xml:lang="ru">Commercial Publisher «New Technologies»</copyright-holder><copyright-holder xml:lang="en">Commercial Publisher «New Technologies»</copyright-holder><license xlink:href="https://mech.novtex.ru/jour/about/submissions#copyrightNotice" xlink:type="simple"><license-p>https://mech.novtex.ru/jour/about/submissions#copyrightNotice</license-p></license></permissions><self-uri xlink:href="https://mech.novtex.ru/jour/article/view/136">https://mech.novtex.ru/jour/article/view/136</self-uri><abstract><p>Изложен метод оценки основных параметров (смещение нуля, крутизна выходной характеристики (масштабный коэффициент и т. д.) микроэлектромеханических преобразователей линейного ускорения (ПЛУ). Приведены методы оценки статических и случайных ошибок ПЛУ. Рассматривается разработанный микромеханический ПЛУ (акселерометр), предназначенный для систем навигации, ориентации, стабилизации, управления движением и наведения различных объектов. Анализ статических характеристик микромеханических ПЛУ проведен с помощью метода наименьших квадратов. Случайные ошибки параметров акселерометра оцениваются с помощью вариации Алана - характеристики шума и других параметров, представляющей собой функцию от времени усреднения. Приведены результаты оценки статических параметров ПЛУ, проведенной с использованием центрифуги с микропроцессорным управлением и программированием режимов, позволившей повысить точность расчета параметров.</p></abstract><trans-abstract xml:lang="en"><p>The article describes the methods for evaluation of the basic parameters using the least squares (zero offset, slope of the output characteristics (scale factor), and so on) of the micromechanical transducers of linear acceleration (PLD). It also contains studies of the static and random errors of the micromechanical transducers of linear acceleration (accelerometers) and random errors of the measurement parameters using the least squares metho, and Alan variations. Due to minimization of the experimental and theoretical values of the measured parameters and the least squares method it became possible to significantly reduce the measurement error. The accuracy of the measured values of the accelerometer using Alan variations was significantly improved due to an increase of the number of partitions of points in the group. So, in the split points in group 51 the accuracy was equal to 10 % and in group 201 to 5 %. The authors considered two ways for estimation of the parameters of a linear acceleration sensor: a static one, using centrifuges, and a dynamic one with testing on a shaker. As is known, a linear acceleration can occur due to the rectilinear, curvilinear and rotational movements. Since in this case the subject of interest is the linear acceleration, the play will be performed using the rotational motion of the centrifuge. The rotational motion and the linear motion depend on the distance of a product to the center of rotation of the table and the speed. The measurement result will depend on the values of the device parameters and characteristics of the test modes of a centrifuge. Because the effects of vibration of a product may cause mechanical defects or deterioration of the values of the parameters, of great importance is vibration testing on a vibration table. The main requirement to the test bench is a reproduction of vibration in a predetermined frequency range and mode for a set time and with a given accuracy.</p></trans-abstract><kwd-group xml:lang="ru"><kwd>преобразователи линейного ускорения</kwd><kwd>статические и случайные ошибки</kwd><kwd>вибростенд</kwd><kwd>центрифуга</kwd><kwd>transducers of linear acceleration</kwd><kwd>static and random errors</kwd><kwd>shaker</kwd><kwd>centrifuge</kwd></kwd-group></article-meta></front><back><ref-list><title>References</title><ref id="cit1"><label>1</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Бойко А. Н., Заводян А. Р., Симонов Б. М. Моделирование элементов конструкции и изготовление // Электроника. Наука. Технология. Бизнес. 2009. № 8. С. 100-103.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Бойко А. Н., Заводян А. Р., Симонов Б. М. Моделирование элементов конструкции и изготовление // Электроника. Наука. Технология. Бизнес. 2009. № 8. С. 100-103.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit2"><label>2</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Панов А. П. Математические основы теории инерциальной ориентации. Киев: Наукова думка, 1995. 280 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Панов А. П. Математические основы теории инерциальной ориентации. Киев: Наукова думка, 1995. 280 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit3"><label>3</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Мокров Е. А. Краткий анализ методов испытаний инерциальных МЭМС-датчиков // Датчики и системы. 1995. № 10. С. 18-20.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Мокров Е. А. Краткий анализ методов испытаний инерциальных МЭМС-датчиков // Датчики и системы. 1995. № 10. С. 18-20.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit4"><label>4</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Синельников А. Е. Низкочастотные линейные акселерометры. Методы и средства поверки и градуировки. М.: Изд-во стандартов, 1979. 175 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Синельников А. Е. Низкочастотные линейные акселерометры. Методы и средства поверки и градуировки. М.: Изд-во стандартов, 1979. 175 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit5"><label>5</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Pavelescu I., Georgescu I., Guran D. E., Cobianu С. P. Патент США на изобретение US 7784344. Integrated MEMS 3D multi-sensor; Honeywell International Inc. (US). Опубл. 31.08.2010. 14 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Pavelescu I., Georgescu I., Guran D. E., Cobianu С. P. Патент США на изобретение US 7784344. Integrated MEMS 3D multi-sensor; Honeywell International Inc. (US). Опубл. 31.08.2010. 14 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit6"><label>6</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Малышев Р. А. Краткий анализ методов испытаний инерциальных МЭМС-датчиков //Датчики и системы. 2011. № 8. С. 64-66.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Малышев Р. А. Краткий анализ методов испытаний инерциальных МЭМС-датчиков //Датчики и системы. 2011. № 8. С. 64-66.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit7"><label>7</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Sun Y., Kim K. Патент США на изобретение US 8317245. MEMS-based micro and nano grippers with two-axis force sensors / Опубл. 27.11.2012. 7 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Sun Y., Kim K. Патент США на изобретение US 8317245. MEMS-based micro and nano grippers with two-axis force sensors / Опубл. 27.11.2012. 7 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit8"><label>8</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Байрак В. В., Шарков М. В. Стенд для испытаний изделий на совместное воздействие вибрационных и линейных ускорений. Патент. G01M7/02 Опублик. 10.08.2010.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Байрак В. В., Шарков М. В. Стенд для испытаний изделий на совместное воздействие вибрационных и линейных ускорений. Патент. G01M7/02 Опублик. 10.08.2010.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit9"><label>9</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Caruso M. J., Bratland T., Smith C. H., Schneider R. A New Perspective on Magnetic Field Sensing // Sensor. Expo proceedings. 1998. P. 195-213.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Caruso M. J., Bratland T., Smith C. H., Schneider R. A New Perspective on Magnetic Field Sensing // Sensor. Expo proceedings. 1998. P. 195-213.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit10"><label>10</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Катомин Н. Н. Испытания гироскопов и акселерометров: Учеб. пособие. М.: Изд. МАТИ, 1993. 94 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Катомин Н. Н. Испытания гироскопов и акселерометров: Учеб. пособие. М.: Изд. МАТИ, 1993. 94 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref></ref-list><fn-group><fn fn-type="conflict"><p>The authors declare that there are no conflicts of interest present.</p></fn></fn-group></back></article>
